尼康推出了第一台后端DSP光刻机器

他于7月21日报道说，尼康在本月16日宣布，尼康宣布推出了其第一个用于后半导体过程（后端）的DSP-100光刻系统。这台光刻机器是去年10月宣布的开发项目的结果，将从本月开始接受订单，并将在2026年推出。DSP-100设计用于高级包装光刻图，DSP-100结合了FPD（平面面板屏幕）的高分辨率技术的高分辨率技术。使用相当于线I的光源，电路模式直接以通过SLM（空间灯调制器）掩码的格式直接投影在板上。该光刻设备可以以1μm（1000 nm）的分辨率和低于0.3μm的精度重叠。它支持大型600毫米x 600毫米FOPPP板。可以处理50毫米x 515毫米板小时的50件PC，比W WW的包装解决方案的生产效率要好得多饮食。 ▲模式效果